De laser-interferometrische meetsystemen zijn ideale instrumenten om nauwkeurig, zonder contact, tijdelijke veranderingen in posities van objecten of oppervlakten te bepalen en biedt de mogelijkheid mechanische vibraties te detecteren met een frequentie van 0 tot 500 kHz. Een belangrijke toepassing is de kalibratie van de machine. Single-beam, dubbel-beam en triple-beam interferometers hebben een meetbereik tot 15 m en resoluties met 0,1 nm toegestane high-precisie lengtes en gelijktijdige hoek metingen voor het kalibreren van machine assen op metrologische apparatuur of machine gereedschap. Zelfs metingen tot 80 m kunnen worden gerealiseerd met de lange-afstands interferometer.
De toepassingsgebieden van interferometrische meetinstallaties zijn: nanotechnologie, microsystems technologie, micromechanica, micro-elektronica, kalibraties, industriële metrologie, de productie van precisie gereedschapswerktuigen, onderzoek en ontwikkeling en universiteiten.
Het complete systeem bestaat uit modulair ontworpen elektronische units, waaronder een laser, een compact ontworpen meetkop en diverse interfaces. De glasvezel gekoppelde interferometer zet de bewegingen langs hun optische assen om in interferentie patronen, die verstuurd worden naar de snelle, hoge resolutie, demodulatie elektronica voor verwerking. Met speciale data-analyse software bedient u dit systeem en krijgt u alle resultaten op uw scherm.
